绝缘硅片:SOI绝缘硅片,SOI是指将一薄层硅置于一绝缘衬底上。
晶体管将在称之为'SOI' 的薄层硅上制备。基于SOI结构上的器件将在本质上可以减小结电容和漏电流,提高开关速度,
降低功耗,实现高速、低功耗运行。作为下一代硅基集成电路技术,SOI广泛应用于微电子的大多数领域,同时还在光电子、
MEMS等其它领域得到应用。
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